說(shuō)起芯片制造過(guò)程中,最重要的設(shè)備是什么,相信絕大多數(shù)人都會(huì)說(shuō)是光刻機(jī)。
從光刻機(jī)的全球格局來(lái)看,荷蘭的ASML是獨(dú)霸天下,EUV光刻機(jī)只有它能夠生產(chǎn),而日本的佳能、尼康早已淪為二流,中國(guó)的上海微電子落后了十多年,在奮起追趕。
而美國(guó)雖然在芯片領(lǐng)域占了全球近50%的市場(chǎng),卻沒(méi)有光刻機(jī)廠商。
事實(shí)上,光刻機(jī)最早是由美國(guó)發(fā)明的,那么問(wèn)題就來(lái)了,為何發(fā)明了光刻機(jī),美國(guó)卻自己沒(méi)有光刻機(jī),最后是ASML稱(chēng)王?
光刻機(jī)的原型,最早出現(xiàn)在上世紀(jì)的五、六十年代,那時(shí)候貝爾實(shí)驗(yàn)室就已經(jīng)搞出了這種東西,但一直沒(méi)有重視,畢竟當(dāng)時(shí)的芯片制造并不依賴(lài)光刻技術(shù)。
再加上研究這東西,成本太高,且在當(dāng)時(shí)對(duì)芯片制造,也沒(méi)太多有價(jià)值的作用,于是美國(guó)廠商也不重視它。
后來(lái)在七、八十的年代,日本半導(dǎo)體高速發(fā)展,日本的佳能、尼康在光刻機(jī)領(lǐng)域崛起,于是美國(guó)從事光刻業(yè)務(wù)的相關(guān)企業(yè),基本就沒(méi)落了,后來(lái)美國(guó)搞光刻機(jī)的企業(yè)Cobilt甚至被賣(mài)掉了。
后來(lái)英特爾與歐洲公司 Censor 合作,想要搞一臺(tái)類(lèi)似于光刻機(jī)這樣的新東西出來(lái),然而嘗試失敗了,最終整個(gè)光刻機(jī)市場(chǎng)被尼康、佳能占據(jù)。
后來(lái)到了2004年,臺(tái)積電提出了浸潤(rùn)式光刻方案,當(dāng)時(shí)的光刻機(jī)巨頭尼康、佳能并不看好,反而小企業(yè)ASML決定試一試,于是一試成功,僅5年時(shí)間,就成為全球光刻機(jī)巨頭,把尼康、佳能甩到了身后。
后來(lái)ASML擔(dān)心自己被制約,也擔(dān)心其它芯片廠商扶持另外的光刻機(jī)企業(yè),威脅到自己的地位,于是想了一招,讓intel、臺(tái)積電、三星等成為了自己的股東。
同時(shí)ASML還加入了英特爾牽頭搞的前沿組織EUV LLC,成功站隊(duì),讓美國(guó)對(duì)ASML也不再擔(dān)心,于是也不限制ASML的成長(zhǎng)。
而美國(guó)也覺(jué)得ASML是受自己控制的,讓他發(fā)展也沒(méi)什么,也會(huì)被自己所用,再加上搞光刻機(jī)也確實(shí)很難,沒(méi)什么企業(yè)愿意去搞,反正找ASML買(mǎi)就行了,所以導(dǎo)致美國(guó)沒(méi)有光刻機(jī)廠商。