5月24日消息,日前上海新陽在業績說明會上表示,公司光刻膠ArF、ArF-i研發進展順利,已經形成兩個系列試驗產品,樣品已經進入客戶端進行測試。由于測試耗時比較長,近期不會有銷售的發生,但是產品總體技術的指標還都比較不錯,我們現在對這方面也比較有信心。
此外,公司2021年完成了幾款KrF光刻膠產品的研發、驗證并實現銷售,在手訂單中含有國內主流頭部芯片制造公司等大小客戶,覆蓋鋁線制程和銅線制程,用于邏輯、模擬等芯片的生產制造。由于客戶對于光刻膠的使用都會比較謹慎,目前還都是小批量使用,所以今年的銷售額可能不會很大,但明年用量可能會增加較多,后續增長空間較大。
眾所周知,光刻膠是芯片關鍵材料中的重點所在,光刻膠是光刻成像的承載介質,其作用是利用光化學反應的原理將光刻系統中經過衍射、濾波后的光信息轉化為化學能量,進而完成掩模圖形的復制。
光刻膠一般由聚合物骨架、光致酸產生劑或光敏化合物、溶劑,以及顯影保護基團、刻蝕保護基團等其他輔助成分組成。光刻膠是微電子技術中微細圖形加工的關鍵材料之一,特別是近年來大規模和超大規模集成電路的發展,更是大大促進了光刻膠的研究開發和應用。
一直以來,光刻膠都是芯片關鍵材料中的重點所在,由于國內光刻膠領域起步較晚,技術嚴重落后等原因,導致我國半導體芯片領域的光刻膠需求主要由外資企業來滿足,日美廠商占據了約87%的份額,國內光刻膠產品進口比例高達九成。
如今上海新陽的KrF光刻膠產品成功打入國內主流芯片公司,意味著國內光刻膠產業再獲得重大突破,實現國產替代指日可待。
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