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郭超群：敞開式離子源和微型氣泵集成的微型針-柱放電結(jié)構(gòu)芯片設(shè)計(jì)與實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)
郭超群：敞開式離子源和微型氣泵集成的微型針-柱放電結(jié)構(gòu)芯片設(shè)計(jì)與實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)
2016-08-09
關(guān)鍵詞：
微納米
