特許機器株式會社技術本部課長董敏璇

       智能產品制造中，作為產品的大腦而使用的IC(半導體集成電路)是必不可缺。而IC是由光刻機等半導體生產設備制造出來的。半導體制造中必須的步進掃描光刻機，光刻機等設備，由超高分辨率投影物鏡，極為精密的驅動和高精的控制等機構構成，被譽為“史上最精密的機械”。運用了最尖端的技術所達到和對應的精度是納米級。而10億分之1米的納米，可謂是精密加工的極限。

       而為了確保IC品質，需要導入電子顯微鏡等檢查設備。IC精密加工所需的微振動環境。超過限度的震動會對加工、檢查、觀察、測試等流程造成不利影響。

       為了防止震動造成危害，需要免震技術、制振技術、防振技術、除振技術共同進行。針對微振動的控制，可以采用磁場主動控制技術，隔絕由地板傳來的振動，減小直接的干擾響應，保持各部位置迅速復元。主動控制技術和被動控制技術相比更加穩定，效果更好。