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真的會做到5nm嗎 半導體制造的那些明爭暗斗

2016-08-29

  當今的半導體行業競爭激烈,而晶圓制造作為關鍵的環節,廠商之間的競爭也是空前激烈,特別是英特爾(Intel)、臺積電(TSMC)、三星(Samsung)和格羅方德(GlobalFoundries)這幾個行業大佬,在爭取大客戶方面更是用盡渾身解數,明爭暗斗得不可開交。總的來說,眼下的半導體制造之爭,主要表現在兩方面:一是工藝技術,即FinFET和SOI;二是工藝節點,即16/14nm、10nm和7nm。

  工藝技術之爭

  1. FinFET為主流

  目前,FinFET(Fin Field-Effect Transistor,鰭式場效應晶體管)是所有大型晶圓制造廠商采用的主流先進工藝。在傳統晶體管結構中,控制電流通過閘門,只能在閘門的一側控制電路的接通與斷開,屬于平面架構。在FinFET架構中,閘門成類似魚鰭的叉狀3D結構,可于電路的兩側控制電路的接通與斷開。這種設計可以大幅改善電路控制并減少漏電流,也可以大幅縮短晶體管的閘長。

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  2. SOI崛起

  上世紀80年代,業界就有人提出了SOI(Silicon-On-Insulator,絕緣體上硅)工藝設想,當時,伯克利的胡正明教授也指出,當摩爾定律走到極限的時候,能夠推動半導體產業繼續向前發展的技術會有兩種,一是FinFET,另外一個就是SOI。

  SOI是CMOS工藝的特殊版本,二者最大的不同在于襯底,CMOS的襯底是導電的,而SOI采用絕緣體硅工藝,其襯底是不導電的,而導熱性又比較好,因此,可以利用這一特性,通過特殊方法,彌補其在擊穿電壓特性上的不足,從而實現高功率電路。

  特殊結構使SOI電路具有較高的跨導、低寄生電容、減弱的短溝效應和較為陡直的亞閾斜率。SOI技術的另一特性是耐高溫,在高溫環境下,SOI器件性能明顯優于體硅器件,這是因為高溫下與體硅器件相比,SOI器件的源和漏結面積小,可使漏電流降低很多。FD-SOI(全耗盡絕緣硅)工藝在射頻(RF)和物聯網芯片方面的優勢明顯。

  雖然SOI工藝成功之路歷經坎坷,但目前已經滲透入主流市場。蘋果的iPhone 6s就采用了SOI工藝射頻芯片,此外,Intel和IBM也正使用SOI工藝來推動硅光子技術的發展。

  相比FinFET工藝,FD-SOI晶體可節省20%的管芯成本和50%的氧化埋層成本

  目前,格羅方德是SOI工藝的主要推進者,該公司聲稱,其FD-SOI(全耗盡絕緣硅)在未來4年內的銷售量將超過FinFET。為此,格羅方德推出了22nm的“22FDX”SOI平臺,并表示這項工藝在能實現更低功耗的同時,還具有與28nm工藝相似的成本優勢,并且性能可與FinFET技術相媲美。

  格羅方德的22nm FD-SOI項目于2016年下半年在德國德累斯頓工廠投產,為此已投資2.5億美元。ARM、Imagination、意法半導體、飛思卡爾、VeriSilicon、IBS、Semeria、Soitec等都表達了支持,宣布將會采納該工藝。

  以前按照摩爾定律,大家總認為芯片成本會不斷降低,但是在28nm以后,如果采用FinFET工藝,單個晶體管的成本不降反升,所以,是成本讓摩爾定律出現了危機!而這正是“22FDX”SOI平臺要解決的問題,該技術最有價值的一點就是它提供的性能和功耗堪比FinFET,但成本卻與28nm相當。

  FinFET可以做到10nm和7nm級別,FD-SOI也具有相同的能力,并且成本更低。格羅方德認為,22FDX正好處于14LPP/LPE和10LLD之間,該公司的下一個目標是實現與10nm FinFET相對應的性能,但是可以降低20%~30%的芯片成本。

  工藝節點之爭

  在智能手機處理器芯片方面,不管是高通、聯發科,還是代工企業臺積電和三星,均在力推10nm和7nm工藝,尤其是10nm,臺積電已經明確表示將會在年底生產10nm芯片,而聯發科(Helio X30)和華為海思(麒麟970)也表示會在年底采用臺積電10nm FinFET技術代工。不過從10nm FinFET代工技術來看,臺積電和三星暫時還難定輸贏,臺積電奪下了蘋果的訂單,三星拿下了高通的訂單,兩家力均勢敵,因此,雙方將在7nm一決高低。

  從臺積電和三星公布的7nm代工服務時間表來看,臺積電將會在明年第一季度開始設計定案,并在2018年初量產;而三星也稱將在2019年第四季度量產。此外,從設備方面來看,臺積電和三星均采用了ASML的EUV光刻機,臺積電將于2017年第一季度采用ASML的光刻機,部分用于7nm芯片制造,部分用于2020年以后的5nm芯片制造;三星則計劃在2017年第二季度采用ASML的EUV光刻機,而EUV光刻機有助于提升7nm、甚至5nm芯片的良率。據統計,目前英特爾有5臺EUV光刻機,帶4臺訂單;臺積電也有5臺,帶2臺訂單;三星有3臺,帶3臺訂單;格羅方德有1臺,帶1臺訂單。

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  虛實相間的工藝節點

  實際上,不管是臺積電還是三星,他們的芯片制造工藝線寬都沒有達到實際的14nm/16nm,臺積電客戶透露,臺積電目前量產的16nm蘋果A10處理器,其實與英特爾的22nm制程差不多,高通也認可這一觀點。

  臺積電目前的16nm工藝,原本計劃和英特爾一樣叫做20nm工藝,因為該制造工藝的最小線寬和量產的前一代20nm工藝差不多,只不過采用了FinFET技術,不過,對于同樣的制造工藝,三星卻稱其為14nm,其實并非嚴格意義上的14nm,只是性能上等效14nm,因此,臺積電也跟隨三星虛稱為16nm。

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  據了解,除了臺積電、三星、格羅方德以外,目前制造工藝技術最先進的英特爾也存在虛報現象。臺積電的16nm制程實際最小線寬是33nm,16nm FinFET Plus線寬則為30nm,而三星第一代14nm的最小線寬是30nm,14nm FinFET則是20nm,英特爾14nm制程經過測量后發現,分別是20nm和24nm。

  對于究竟是幾個納米線寬,目前沒有行業標準,太多產品沒法定義。英特爾每年在研發上花100億美元,而臺積電才20億美元,可以看出英特爾在技術上仍然領先,但領先的幅度已慢慢縮小。而對客戶而言,看的不僅僅是技術領先與否,包含良率、耗電量等因素都在考量范圍之內,而非只有制程一項因素而已。如果光從數字就可評斷,那先前蘋果A9芯片門事件也不會鬧得沸沸揚揚了,畢竟三星的整體數字是優于臺積電的。

  很多半導體人認為,摩爾定律終究會終結,只是早晚的問題。我甚至懷疑,芯片真的會做到5nm嗎?做到現在這個程度已經很厲害了,做到5nm設備成本太高。所謂摩爾定律終結在5nm時期,就是終結在成本上,其在技術層面實現是可以的,但真的實現的話,投片的成本太高,而性能的提升有限,所以意義不大。

  國際電機電子工程協會(IEEE)指出,微處理器中的晶體管體積,將在2021年停止縮小。從時間方面來看,2021年,正好是臺積電、三星等芯片代工廠5nm芯片開始量產的時候,如果IEEE預估準確的話,那就意味著摩爾定律終結在5nm工藝。


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