日前，廣立微（Semitronix）順利完成了第一臺量產用WAT測試機Semitronix Tester T4000的出口和交付。目前測試機已在客戶端完成安裝調試和驗收工作，設備性能穩定、運行可靠，技術指標完全符合客戶的預期要求。

十年磨一劍，廣立微（Semitronix）自2010年就開始晶圓級電性測試機的研發。從最初的硬件架構設計、工程機的研發、客戶端試用、設備升級到滿足WAT機臺的技術指標經歷了穩步前進的發展過程。期間，研發用測試機獲得海內外多家知名半導體企業采購使用，并得到了客戶的高度認可，為我們最終進入WAT設備市場奠定了堅實的基礎。

廣立微（Semitronix）首臺量產用WAT測試機的成功交付和驗收標志著公司測試機產品正式進入WAT市場，是公司硬件設備產品發展過程中的重要里程碑。目前廣立微（Semitronix）測試機中心已經能夠滿足批量設備的訂購生產，同時公司還提供設備的定制服務。

產品介紹

隨著集成電路先進工藝節點的不斷推進，晶圓級WAT的測試效率成為制約晶圓廠研發進程和生產效率的關鍵因素。廣立微（Semitronix）的第四代高速半導體電性測試機(Semitronix Tester IV)具有測試靈活、測試速度快、測試精度高等核心優勢，能夠為客戶提供準確且高度自動化的WAT與測試芯片測量解決方案，可以用于快速和精確地監控工藝及可靠性。

在測試功能上，兼容行業標準的晶圓探針臺，能夠提供WAT測試中所需評估的所有測試項，支持標準與并行兩種測試模式；

T4000最多支持到48個測試通道（pads），T4100最多支持到128個測試通道；

最多可配置22個SMU通道，包括快速SMU和高精度SMU的優化配置；

包括LCR Meter、Pulse Generator和FMU (Frequency Measurement Unit)等測試單元；

配備高性能的切換矩陣。通過切換矩陣，所有的測試單元能夠被所有測試通道共享，極大的

提高了硬件利用率，從而降低了測試成本；

在測試速度上，相對于普通測試機有4X到10X的提升；

在測試精確度上，小電流測試精確度達到pA級以下直至0.1pA，電容測試精確度達到0.1pF級以下；

提供完整和靈活的軟件環境：包括Algorithm Builder、Test Plan Builder和Framework，支持Fab的EAP系統從而實現全自動測試；

在產品質量上，遵循最嚴格的產品質量標準，其安全性標準已經過權威第三方檢測獲得了歐盟CE認證。

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小電流可重復性（Ioff)

廣立微（Semitronix）高性能WAT測試機擁有完全自主的知識產權，其性能達到或超過業界常用的WAT測試機。T4000的研發完成并成功產業化完善了公司集成電路成品率提升和工藝監控的產品生態鏈，增強了公司的技術實力和市場競爭力。同時，該產品的推出為全球集成電路行業發展提供了有力的支持，也將為支持國內高端集成電路產業鏈完善，進而推動國內整個集成電路行業的發展和升級起到重要的作用。