作為半導體生產中的重要設備，光刻機不可或缺，尤其是7nm以下先進工藝生產離不開的EUV光刻機，目前全球只有荷蘭ASML公司能夠生產，而臺積電、三星、英特爾等晶圓生產大廠，都有迫切需求，因此這個市場出現了供不應求的局面。

圖源 | Koreanherald.com

據businesskorea報道，三星電子副會長李在镕正敦促ASML的高管盡早交付三星今年訂購的9臺的EUV光刻機。

該報道指出，李在镕日前在到訪荷蘭時，與ASML的CEO Peter Wennink、CTO Martin van den Brink等高管進行了會晤。李在镕要求ASML提前1個月交付EUV光刻機。對于三星的要求，傳ASML考慮最快11月出貨。

據悉，ASML是全球唯一能夠生產EUV光刻機的廠商，年產量為40余臺，臺積電方面希望獲得全數供應。EUV光刻機的價格昂貴，每臺要價約1.3億美元(近10億元人民幣)，由于是EUV制程必需的關鍵設備，臺積電與三星電子的競爭日益激烈。

現階段，確保EUV光刻機的數量是三星最緊迫的任務，如果EUV光刻機的安裝延遲，全球客戶最先進的高性能、低功耗芯片訂單將流向臺積電。

21ic家注意到，臺積電最近公布了其三季度營收，實現同比21.6%的增長，其中7nm的占比最高為35%，最新的5nm工藝首次開始貢獻營收，占比達到了8%，臺積電表示，客戶對5nm和基于5nm改進的4nm芯片的需求非常強勁，明年5nm貢獻將接近甚至超過20%。面對臺積電積極布局下一代先進工藝，三星無疑壓力滿滿，此次催貨EUV光刻機，就可見一斑。