5月31日,蘇州源卓光電科技有限公司(下稱“源卓光電”)宣布完成B輪戰略融資,本次投資方包括中金資本旗下的中金傳化基金、聯通中金基金、比亞迪股份、華潤資本、中電基金、清源投資、中南弘遠、中匯金。

源卓光電成立于2016年10月,法定代表人張雷,主要從事將LED、激光光源技術和數字光學處理(DLP)技術結合應用于PCB&FPC、FPD、LED、太陽能、晶圓、IC封裝及高精密絲網印刷等領域,研發、生產各類數字光學(Digital-Step-Scan,簡稱DiSS)設備及關聯部件、裝置。

源卓光電身處光刻機行業,目前已經成功量產1μm、10μm、20μm、50μm等線寬精度的數字光刻機。公司核心研發團隊在原有的激光直接成像技術(LDI)基礎上已研發出可匹配菲林/掩膜版曝光機性價比的新一代數碼曝光技術(DiSS),為印刷線路板(PCB&FPC) 、半導體(IC FAB)及類半導體(MEMS、LED、生物芯片和微光學)、平板顯示(FPD、TFT-LCD、OLED)及觸屏(TP)、絲網印刷(Screen Printing)產業曝光工序的全面智能和清潔環保生產奠定基礎,同時為客戶提供取代傳統曝光機(菲林/掩膜版曝光機)且更加精密、經濟、高效、智能環保的數碼曝光機方案。

源卓光電此前曾于2019年8月30日和2020年1月6日分別完成A輪和A+輪融資,A輪融資1．2億元,投資方為中南弘遠和清源投資,A+輪融資金額尚未披露,投資方為中南弘遠和元禾原點,中南弘遠參與了當前源卓光電所有輪次的融資。

光刻機產業鏈(來源:方正證券)

集成電路和芯片生產的步驟一般包括IC設計、晶圓制造、封裝和測試,其中晶圓制造是最關鍵的一項,對生產設備要求極高。根據SEMI的數據,晶圓廠70%的投資都是用于生產設備的購置,生產設備中的70%是晶圓制造設備,封裝和測試設備約占25%。

晶圓制造的流程也較為復雜,需要經過擴散、薄膜生長、光刻、刻蝕、離子注入、拋光和金屬化七個步驟,要用到的設備包括擴散爐、薄膜沉積設備、光刻機、刻蝕機、離子注入機、化學機械拋光機、清洗機等。而光刻機、刻蝕機、薄膜沉積設備是最為核心的部分,成本分別占晶圓制造設備投資的30%、25%、25%,技術壁壘也非常高,通常被歐美和日本的巨頭企業控制。

光刻機目前經歷了五次迭代,分別為接觸/接近式光刻機(g-line、i-line)、掃描投影光刻機(KrF)、浸入式光刻機(ArF)、極紫外式光刻機(EUV),目前行業內使用的大多是第四代浸入式光刻機,其制程節點最高可達7納米,但是在7納米之后必須使用目前最頂級的EUV光刻機,其制程節點為7-3納米。

全球光刻機主要企業只有ASML、尼康(Nikon)、佳能(Canon)三家,占據了全球90%以上的市場。荷蘭的ASML擁有目前最核心的技術,壟斷了EUV光刻機全球的份額,2019年在ArF和KrF光刻機的市占率也分別高達88%和71%。

國內光刻機企業與上述公司技術水平差距較大,上海微電子作為行業龍頭,其產品包括ArF、KrF和i-line,目前能達到90納米制程,并稱將于2021-2022年交付第一臺國產28納米浸入式光刻機,但國內還未出現能滿足芯片行業需求的企業。

2020年全球電動汽車銷量300萬輛,中國銷量超過136萬輛,已經成為全球最大的新能源汽車市場,而動力電池、電機和電控是新能源汽車的關鍵核心技術,新能源汽車的發展也將帶動電池產業增長。

比亞迪從2003年開始拓展汽車業務,2009年進入新能源汽車領域,據汽車工業協會數據最新數據,2020年1-10月,上汽集團(600104．SH)新能源汽車銷量為19．2萬輛,為行業第一,比亞迪的新能源汽車銷量為13．65萬輛,超過特斯拉的9．2萬輛排名市場第二。

根據前瞻產業研究院數據,2020年我國動力鋰電池市場前三名企業裝機量占行業整體73．13%,前十名則高達91．17%。總體競爭呈金字塔格局,塔頂是寧德時代和比亞迪兩大巨頭,2020年寧德時代市占率為48．06%,比亞迪14．91%。

投資聯動效應

目前芯片短缺已經成為全球性的問題。高盛最新的研究報告指出,全球多達169個行業在一定程度上受到芯片短缺的打擊,包括鋼鐵產品、混凝土生產等眾多行業,芯片價格也隨著市場的供求不平衡而一路飆升,據央視財經消息,今年某款德國芯片價格相比去年已經漲了五倍。

六月初,為防止新冠疫情蔓延,馬來西亞開始第二次近乎全面封鎖,馬來西亞是全球第七大半導體出口中心,全球超過50家半導體公司在馬來西亞有投資,此次封鎖有可能進一步加劇芯片短缺的問題。

芯片是整車生產尤其是新能源汽車的核心組成部分,在新能源汽車及其技術支持的動力電池行業都有較高行業地位的比亞迪,投資光刻機公司的動因顯而易見。因為國內與國際技術水平的差距,在芯片技術上被“卡脖子”非常嚴重,芯片供應不足導致整車的出廠速度也在下降,國際汽車制造商協會(OICA)數據顯示2020年全球汽車產量同比下降16%,倒退至十年前水平,汽車工業協會表示今年一季度芯片短缺致使國內汽車產量下降5%-8%,比亞迪此舉意在向產業鏈最上游發展,支持國產光刻機技術的進步,解決最根本的問題。

6月7日,比亞迪宣布5月新能源汽車銷量為3．28萬輛,去年同期為1．13萬輛,同比增長143．41%,為了維持這個增長,芯片問題的解決也是勢在必行。

除了源卓光電外,比亞迪還于2020年9月9日參與了導航芯片及產品制造商華大北斗的A+輪融資,并于2020年10月19日對其進行戰略投資,該公司主要從事導航定位芯片、算法及產品的自主設計、研發、銷售及相關業務,主要生產了HD80系列、HD90系列等產品,產品可應用于汽車、物聯網等專用終端市場,同時提供芯片及其應用方案。

5月31日完成源卓光電投資當天,比亞迪股份發布公告稱,子公司比亞迪半導體計劃分拆于深交所創業板上市,比亞迪已經展現其對于半導體業務的重視程度,此次布局光刻機業務可能會為其補齊整車芯片方面的短板,建立完整的整車上下游供應鏈提供重要支撐。

3月15日,上汽集團在證券交易所互動平臺上表示,上汽集團確實受到芯片短缺的影響,公司通過加強全球供應鏈協同等措施盡量減小影響。就在3月10日,芯旺微電子宣布完成B輪融資,投資方上海恒旭為上汽集團旗下母基金管理公司。

為了應對芯片短缺問題,上汽集團早前已經開始布局,2017年就與邊緣人工智能芯片技術全球領先的公司地平線機器人達成合作,并于2019年4月12日參與了黑芝麻智能科技(上海)有限公司(下稱“黑芝麻”)的B輪投資,黑芝麻的核心業務為基于人工智能的圖像處理和計算圖像的解決方案以及基于控光技術、圖像處理和深度學習的嵌入式感知平臺,值得注意的是,蔚來資本于2018年1月領投了黑芝麻智能的A+輪融資。

無獨有偶,華為最近開始向光刻機領域進行布局,6月5日有消息稱中科院微電子所控股的北京科益虹源光電技術公司(下稱“科益虹源”)注冊資本日前發生了變化,注冊資金從1．2億元增加到2．02億元,引入了2位股東,其中華為旗下的哈勃投資占股4．76%,成為第七大股東,中科院微電子所持股26．6%。

科益虹源的主營業務是光刻機核心技術中的光源系統,是國內第一、全球第三的193nm ArF準分子激光器企業,而科益虹源也是上海微電子的光源系統供應商,在28納米國產浸入式光刻機的研發上上海微電子也會與科益虹源共同完成。

2020年的4月,科益虹源集成電路光刻光源制造及服務基地項目開始動工進入到建設階段。該項目總投資金額為5億元,建筑面積達到了1．2萬平方米,根據計劃該公司將會具備年產RS222型光刻準分子激光器、光刻用準分子激光器、405光纖耦合頭等各類設備30臺左右的生產線。