2月24日消息，有投資者在投資者互動平臺提問：徐州博康的Arf產品進展情況如何？可以介紹一下旗下的相關產品不？
華懋科技2月24日在投資者互動平臺表示，徐州博康具備干法ArF光刻膠及濕法ArF光刻膠的技術能力，產品種類涵蓋了L／S及C／H兩類光刻膠。干法ArF產品HTA13X及HTA12X系列可應用至90nm／65nm／55nm工藝節點，濕法ArF產品HTA11X系列可應用至40nm／28nm工藝節點。
此外，徐州博康已經具備半導體光刻膠樹脂研發、生產體系，已經成功開發出50多款半導體光刻膠樹脂，目前旗下光刻膠產品用樹脂全部屬于自供。
據公開資料顯示，徐州博康位于江蘇省邳州經濟開發區，是集研發、生產、經營中高端光刻膠、光刻膠單體和光刻膠樹脂為主的國家高新技術企業，也是目前本土企業中，唯一可以規模化生產中高端光刻膠單體材料的制造商。公司自成立以來一直專注于高端精細化工領域醫藥中間體和高端電子化學品的研發、生產，目前現有職工100多人，其中專業技術人員50人，建有3000m2研發中心，已獲得十多項發明專利，先進的分析檢測設備，完備的中試設備，標準化的生產車間。企業擁有自己的核心技術研發團隊、中試放大團隊及生產團隊，并通過專業化的流程管理來控制產品質量。
徐州博康專注于光刻膠原材料到成品的自主研發及生產，實現了從單體、光刻膠專用樹脂、光酸劑及終產品光刻膠的國產化自主可控的供應鏈；擁有5000平方研發中心，位于松江漕河涇科技綠洲，研發團隊200余人，博士和碩士占比50％以上。配置有KrFNikonS204、I9、I12、ACT8track、日立CDSEM等先進光刻檢測設備，以及其它理化檢測設備如ICP－MS、HPLC、GC、IR等。
徐州博康產品線涵蓋193nm／248nm光刻膠單體、193nm／248nm光刻膠、G線／I線光刻膠、電子束光刻膠等產品。目前已成功開發出40＋個中高端光刻膠產品系列，包括多種電子束膠，ArF干法光刻膠，KrF正負型光刻膠，I線正負型光刻膠及GHI超厚負膠，應用于IC集成電路制造多個環節，服務客戶超100家。
今年6月，徐州博康被列入建議支持的國家級專精特新“小巨人”企業。在產業資本和政府的支持下，徐州博康新建年產1100噸光刻材料及1萬噸電子溶劑新工廠已于2021年6月份正式投產，項目全部達產后，可實現年產值20億元，這也是中國目前第一個可以規模化生產中高端光刻膠的生產基地。
