據外媒報道，在美國聯合日本、荷蘭升級對于半導體設備的出口限制之后，美國正要求荷蘭盟友對中國芯片制造設備的維護施加更多限制。

美國商務部負責工業和安全的副部長Alan Estevez表示：“我們正在與我們的盟友合作，確定什么對服務重要，什么對服務不重要。我們正在推動不對這些關鍵部件提供服務，因此我們正在與盟友進行討論。”他補充說，美國并不打算限制設備供應商維護更多中國企業能夠自行修復的外圍部件。

對于半導體設備來說，要想持續穩定在半導體制造產線上運行，設備的維護極為的關鍵。如果這些設備離開了售后維護，甚至可能會在一周之內就會出現問題。同樣，設備的一些核心零部件也需要定期更換。據芯智訊了解，ASML光刻的工件臺對準定位用的部件，一般來說，兩年就需要更換。

因此，國內的晶圓制造商如果想要維持產線的生產的穩定，產線上的ASML光刻機的核心部件的供應和維護極為關鍵。

不過，需要指出的是目前ASML受限的光刻機主要是NXT:2000i及更先進的機型，其他未受限的光刻機型銷售和維護是沒有受到影響。當然，如果相關設備零部件涉及美國技術來源，則會受到美國的出口限制。

雖然據芯智訊了解，ASML在國內擁有一個維修中心，可以對于一些關鍵零部件進行維修，但是如果相關零部件屬于進口受限的，當國內光刻機相關屬于進口受限的部件損壞后無法修復，也就無能為力。

對于中荷雙方來說，在去年年底前已經出口到中國的NXT:2000i及更先進的光刻機機型，隨著許可的失效以及美方的進一步施壓，ASML后續能否繼續為這類設備提供維護則是一個懸而未決的問題。

3月26日到27日，荷蘭首相呂特在中國展開工作訪問期間，關于光刻機的相關議題也就成為了外界極為關注的議題。

據商務部網站消息，3月27日，商務部部長王文濤在京會見來訪的荷蘭外貿與發展合作大臣范呂文。雙方重點就光刻機輸華和加強半導體產業合作等議題深入交換意見。商務部副部長兼國際貿易談判副代表凌激參加會見。

王文濤表示，今年是中荷建立開放務實的全面合作伙伴關系十周年。在兩國領導人戰略引領下，中荷經貿關系穩步發展。中方贊賞荷方堅持自由貿易，視荷方為可信賴的經貿伙伴，希望荷方秉持契約精神，支持企業履行合同義務，確保光刻機貿易正常進行。要防止安全泛化，共同維護全球半導體產業鏈供應鏈穩定，推動雙邊經貿關系持續健康發展。

范呂文表示，荷蘭以貿易立國，主張自由貿易，高度重視對華經貿合作。中國是荷蘭最重要的經貿伙伴之一，荷蘭愿繼續做中國可靠的合作伙伴。荷蘭出口管制不針對任何國家，所做決定基于獨立自主的評估，并在安全可控前提下盡可能降低對全球半導體產業鏈供應鏈的影響。期待兩國進一步拓展綠色轉型、養老服務等領域合作。

另據外媒報道，范呂文在當地時間3月26日接受荷蘭媒體采訪時曾表示，他將捍衛ASML的利益視為首要任務。但他也表示，“我們和合作伙伴的國家安全因素會放在經濟利益之前。”

荷蘭首相呂特3月27日在訪問中國期間淡化了中荷之間在ASML制造的設備出口限制問題上的沖突。呂特拒絕回答關于荷蘭政府是否會拒絕向ASML頒發許可證，讓其繼續為這些中國客戶提供維護服務的問題。美國方面希望荷蘭拒絕發放許可證。

呂特說：“當涉及到我們的半導體行業和像ASML這樣的公司時，當我們不得不采取（出口限制）措施時，荷蘭會確保這些措施絕不會專門針對某個國家，我們總是努力確保影響是有限的。”