中國上海，2024年5月28日——近日，中微半導體設備（上海）股份有限公司（以下簡稱“中微公司”，股票代碼：688012）推出自主研發(fā)的12英寸高深寬比金屬鎢沉積設備Preforma Uniflex? HW以及12英寸原子層金屬鎢沉積設備Preforma Uniflex? AW。這是繼Preforma Uniflex? CW之后，中微公司為各類器件芯片中超高深寬比及復雜結構金屬鎢填充提供的高性價比、高性能的解決方案。中微公司深耕高端微觀加工設備領域多年，持續(xù)加碼創(chuàng)新研發(fā)，此次多款新產(chǎn)品的推出是公司在半導體薄膜沉積設備領域的新突破，也為公司業(yè)務多元化發(fā)展提供了強勁的增長動能。

中微公司自主研發(fā)的具備超高深寬比填充能力的12英寸Preforma Uniflex? HW設備，繼承了前代Preforma Uniflex?CW設備的優(yōu)點，可靈活配置多達五個雙反應臺的反應腔，每個反應腔皆能同時加工兩片晶圓，在保證較低生產(chǎn)成本的同時，實現(xiàn)較高的生產(chǎn)效率。Preforma Uniflex? HW采用擁有完全自主知識產(chǎn)權的生長梯度抑制工藝, 可實現(xiàn)表面從鈍化主導到刻蝕主導的精準工藝調控。硬件上，中微公司開發(fā)的可實現(xiàn)鈍化時間從毫秒級到千秒級的控制系統(tǒng)，可滿足多種復雜結構的填充。此外，搭配經(jīng)過優(yōu)化設計的流場熱場系統(tǒng)，使該設備具備優(yōu)異的薄膜均一性和工藝調節(jié)靈活性。

中微公司12英寸高深寬比金屬鎢沉積設備Preforma Uniflex? HW

此次中微公司還推出了自主研發(fā)的具備三維填充能力的12英寸原子層金屬鎢沉積設備——Preforma Uniflex? AW。該設備繼承了鎢系列產(chǎn)品的特點，可配置五個雙反應臺反應腔，有效提高設備生產(chǎn)效率。此外，系統(tǒng)中每個反應腔均可用于形核和主體膜層生長，可根據(jù)客戶實際工藝需求優(yōu)化配置，進一步提高生產(chǎn)中的設備利用率。Preforma Uniflex? AW采用擁有完全自主知識產(chǎn)權的高速氣體切換控制系統(tǒng), 可精準控制工藝過程，實現(xiàn)精準的原子級別生長，因此，所生長的膜層具備優(yōu)異的臺階覆蓋率和低雜質濃度的優(yōu)點。Preforma Uniflex? AW 還引入獨特的氣體輸送系統(tǒng)，進一步提升性能，使該設備具備更先進技術節(jié)點的延展能力。該設備也繼承了中微公司自主開發(fā)的流場熱場優(yōu)化設計，從而提升薄膜均一性和工藝調節(jié)靈活性。

中微公司12英寸原子層金屬鎢沉積設備Preforma Uniflex? AW

中微公司董事、集團副總裁、CVD產(chǎn)品部及公共工程部總經(jīng)理陶珩表示：“我們很高興可以為全球領先的邏輯和存儲芯片制造商提供行業(yè)領先的薄膜設備，這兩款設備優(yōu)異的臺階覆蓋率和低電阻特性，使其可以滿足多種復雜和三維結構的金屬鎢填充需求。隨著半導體技術的不斷進步，原子層沉積技術因其卓越的三維覆蓋能力和精確的薄膜厚度控制而日益受到重視，預計未來將會有更廣泛的應用需求。中微公司推出的這兩款新設備，進一步擴充了中微公司薄膜設備產(chǎn)品線，不僅展示了我們在原子層沉積領域的先進技術水平，也證明了我們擁有強大的產(chǎn)品開發(fā)和應用開發(fā)能力，標志著我們在半導體領域中擴展了全新的工藝應用，這將為我們公司的持續(xù)增長和長期發(fā)展提供廣闊的空間。“

探索不息，創(chuàng)新不止。一直以來，中微公司持續(xù)踐行“四個十大”的企業(yè)文化，將產(chǎn)品開發(fā)的十大原則始終貫穿于產(chǎn)品開發(fā)、設計和制造的全過程，研發(fā)團隊秉持為達到設備高性能和客戶嚴格要求而開發(fā)的理念，堅持技術創(chuàng)新、設備差異化和知識產(chǎn)權保護。自2004年成立以來，中微公司致力于開發(fā)和提供具有國際競爭力的微觀加工的高端設備，現(xiàn)已發(fā)展成為國內高端微觀加工設備的領軍企業(yè)之一。未來，公司將繼續(xù)瞄準世界科技前沿，堅持三維發(fā)展戰(zhàn)略，打造更多具有國際競爭力的技術創(chuàng)新與差異化產(chǎn)品，為客戶和市場提供性能優(yōu)越、高生產(chǎn)效率和高性價比的設備解決方案。

關于中微半導體設備（上海）股份有限公司

中微半導體設備（上海）股份有限公司（證券簡稱：中微公司，證券代碼：688012，英文簡稱：AMEC）致力于為全球集成電路和LED芯片制造商提供領先的加工設備和工藝技術解決方案。中微公司開發(fā)的等離子體刻蝕設備和化學薄膜設備是制造各種微觀器件的關鍵設備，可加工微米級和納米級的各種器件。這些微觀器件是現(xiàn)代數(shù)碼產(chǎn)業(yè)的基礎，它們正在改變人類的生產(chǎn)方式和生活方式。中微公司的等離子體刻蝕設備已被廣泛應用于國際一線客戶先進工藝的眾多刻蝕應用，中微公司開發(fā)的用于LED和功率器件外延片生產(chǎn)的MOCVD設備已在客戶生產(chǎn)線上投入量產(chǎn)，目前已在全球氮化鎵基LED MOCVD設備市場占據(jù)優(yōu)勢地位。