2月2日，合肥芯碁微電子裝備股份有限公司科創板IPO注冊獲中國證監會批準，安徽自貿區合肥片區高新區塊迎來今年首家科創板注冊獲批企業。
芯碁微裝成立于2015年，坐落于合肥高新區集成電路產業基地，公司專業從事以微納直寫光刻為技術核心的直接成像設備及直寫光刻設備的研發和生產。截至目前，公司已獲得了71項技術專利，獲批建立了“外國專家工作室”和“第十批省級博士后科研工作站”，并多次榮獲國家、省、市大獎。
首家國產光刻機制造企業過會
三年來業績表現不俗
芯碁微裝是一家于2015年6月成立的年輕公司，主要從事以微納直寫光刻為技術核心的直接成像設備及直寫光刻設備的研發、制造、銷售以及相應的維保服務，主要產品及服務包括PCB直接成像設備及自動線系統、泛半導體直寫光刻設備及自動線系統、其他激光直接成像設備等。
據了解，國內A股上市公司中，尚無與公司產品應用領域完全相同的企業。招股說明書顯示，與公司產品相近的境內外上市公司分別是日本SCREEN、瑞典Mycronic、美國KLA-Tencor、美國Rudolph、臺灣川寶科技、大族激光。
芯碁微裝此次擬募集資金4.73億元，其中，2.08億元用于高端PCB激光直接成像（LDI）設備升級迭代項目，9380.00萬元用于晶圓級封裝（WLP）直寫光刻設備產業化項目，1.08億元用于平板顯示（FPD）光刻設備研發項目，6355.00萬元用于微納制造技術研發中心建設項目。2017年至2020年1-6月，芯碁微裝未進行股利分配。
在合肥“國資委系”的大力支持下，芯碁微裝2017-2019年的業績表現十分耀眼：短短三年間，凈利扭虧為盈，從-685萬元迅速突破至4,763萬元，呈增長趨勢。這三年里芯碁微裝都做了什么？
這三年里芯碁微裝只做了一件事：“直寫光刻技術”。
直寫光刻設備打破封鎖
從PCB向OLED跨越 彌補中國產業空白
光刻是利用光學—化學反應，將設計好的微圖形結構，轉移到覆有感光材料的晶圓、玻璃基板、覆銅板等基材表面，這三種基材面板對應的最終電子器件分別是：芯片、顯示面板和印制電路板（PCB）。其中，制造PCB的直寫光刻設備由計算機控制高精度光束，無需掩膜就能直接掃描成像。相較傳統掩膜光刻，其不僅省去了多道工序流程，還大幅提升了光刻精度、良品率兩大核心指標。
由于受到《瓦納森協定》限制，中國企業無法購買技術最先進的設備，直寫光刻技術在中國并不普及。在此背景下，芯碁微裝苦研直寫光刻技術，終于做出了一款“ACURA280激光直接成像設備”，該設備能夠用于PCB最高端的基板光刻，一舉填補該領域空白。芯碁微裝因此順利躋身于行業第一梯隊，自給自足，不再受《瓦納森協定》限制，甚至在國際舞臺上與以色列的Orbotech、日本的ORC展開較量。隨著PCB產業結構不斷升級，國產直接成像設備有望加速實現對行業內傳統曝光設備以及進口 PCB 直接成像設備的替代。
除PCB制造業務，芯碁微裝也將直寫光刻技術押注在更有前景的OLED領域，OLED與PCB相比對精度的要求更高。與合肥打造“IC之都”的藍景不謀而合。發行人于 2018 年推出應用在FPD 低世代產線的國內首條 OLED 顯示面板直寫光刻自動線系統（LDW-D1），光刻精度可達 0.7μm，成功獲得面板客戶的產線驗證，給中國的OLED制造帶來了希望。
在 IC 掩膜版制版及 IC 前道制造領域，經過多年的深耕與積累，芯碁微裝累計服務近 70 家客戶，芯碁微裝直寫光刻設備的客戶主要為中國科學院半導體研究所、中國工程物理研究院激光聚變研究中心、中國電子科技集團公司第十一研究所、中國科學技術大學、華中科技大學、廣東工業大學等高校及科研院所，通過優秀產品幫助客戶在提升產品品質和降低生產成本的同時實現數字化、無人化、智能化發展。
從PCB到OLED再到IC領域，這個年輕的公司在一步步升級直寫光刻技術。秉承“成為國產光刻機世界品牌”的奮斗目標，在“依托自有核心技術，加大研發力度，開拓新型應用領域”及“整合行業資源，打造高端裝備產業供應鏈”的戰略發展方向下，專注于微納直接成像設備及直寫光刻設備領域，力爭成為微納直寫光刻領域的國際領先企業。
芯碁微裝多次被訴“專利侵權”
“老東家”撤訴背后或有秘情
對于科創板公司而言，科研水平高低和專利成果多少是決定其未來能否持續成長的關鍵，而欲登陸科創板的芯碁微裝卻在這方面存在一定瑕疵，其與合肥芯碩半導體有限公司（下稱“合肥芯碩”）之間發生的專利糾紛案，暴露了公司在研發能力上的不足或疑點。
說起合肥芯碩，它與芯碁微裝的淵源是頗深的。招股書披露，芯碁微裝的諸多核心成員原先就任職于合肥芯碩。比如芯碁微裝的董事長程卓，2015年4月至6月曾參與合肥芯碩重整事宜，被當時的合肥芯碩股東會選為董事長、財務總監；又比如芯碁微裝現總經理方林，原先就是合肥芯碩的技術骨干，擔任過合肥芯碩的研發部總監、技術部副總經理；另外還有芯碁微裝的現任總工程師何少鋒，原先就是合肥芯碩的研發部總工程師。既然雙方之間關系曾經很密切，可為何兩者之間會發生專利糾紛呢？
像許多“老東家”狀告“單飛”后的新成員一樣，合肥芯碩自2017年4月起，多次以侵害其專利權為由對芯碁微裝的核心技術人員（原先也是合肥芯碩核心技術人員）方林、何少鋒提起了訴訟，而且這類訴訟還發生了很多次，時間分別為2017年4月、9月，2018年5月、2019年1月。但需要注意的是，在往年訴訟中，合肥芯碩都因各種各樣的理由最終敗訴了。
根據《裁判文書網》披露的文件顯示，最初合肥芯碩是向方林、何少鋒個人提起訴訟，但法院認為因合肥芯碩未約定競業限制補償金的金額，且超過三個月未向方、何二人支付競業限制補償金，且合肥芯碩未在法定時效內以違反競業限制義務為由向方、何二人主張過違約責任，因此合肥芯碩的訴訟請求被法院駁回。
此后，合肥芯碩又向芯碁微裝提起訴訟，主要訴求是合肥芯碩認為自己的11項專利被侵權，但《紅周刊》記者在文書中看到，法院判定合肥芯碩涉案的11項專利不是用于制造芯片加工設備的方法，而是芯片加工設備在工作過程中可能需要使用的方法，而芯碁微裝的產品并不屬于使用該11項專利方法制造出來的產品，而是可能使用了這些專利方法來加工芯片的芯片制造加工設備，故合肥芯碩的訴求被駁回。
然而，“不是用于制造芯片加工設備的方法，而是芯片加工設備在工作過程中可能需要使用的方法”的說法，卻在一定程度上還是反映了芯碁微裝的產品涉及到了合肥芯碩的專利。而對于連續敗訴的結果，合肥芯碩顯然并不滿意，這一點可從其之后幾年多次提起上訴的行為仍可看出。
意外的是，合肥芯碩“鍥而不舍”的上訴行為卻突然在2019年12月戛然而止。據“裁判文書網”披露的信息顯示，2019年1月之后合肥芯碩曾不服安徽省高級人民法院的判決，向最高人民法院申請再審，但在審查過程中，合肥芯碩卻在2019年12月12日突然書面提出撤回再審申請。
要知道，在此前的上訴中，合肥芯碩均以失敗告終，并承擔了不少的訴訟費用，可即便如此其仍然選擇上訴，說明審判結果并不怎么令人信服，可就在其已經提交最高人民法院并進入審查過程中，卻在芯碁微裝提交上市申請的關鍵期撤訴了，這一突然轉向的背后原因令人好奇。
在《紅周刊》記者調查過程中，一位不具名知情人向記者透露，“合肥芯碩此次提出撤回再審申請，是因為雙方已經達成了和解，該案最終以和解方式結案。”可讓人疑惑的是，這一說法并沒有記錄在裁判文書網的公開文件中，讓人懷疑雙方很可能是尋求了私下和解方式。
私下和解背后或有“隱情”
歷經多年的專利糾紛，雙方爭議最終以私下和解而告終，這一結果是非常“耐人尋味”的。從常理來看，如果不是有足夠證據證明自己的專利被侵權，合肥芯碩不可能一直申訴下去，而芯碁微裝如果確實夠“理直氣壯”的話，也不會接受上述知情人所談到的“私下調解”方式，理論上，其更愿意尋求公開公正結果，因為這樣可以避免未來繼續出現專利糾紛的可能性。
需要注意的是，在中國庭審公開網關于此案的開庭錄像中，有幾處細節印證了芯碁微裝與合肥芯碩的專利“剪不斷理還亂”的關系。
首先，2019年3月21日開庭的庭審錄像顯示，合肥芯碩代理律師說明天津市漢沽公證處（2017）津漢沽證字第280號公證書（下稱“280號公證書”）記載，在方林給程卓的電子郵件關于商業計劃書和請示匯報中，“明確將合肥芯碩的11項專利列入合肥芯碁商業計劃書”的事實。
此外，280號公證書還證明方林在（電子郵件）匯報請示中，（電子郵件的內容）也明確寫道：“芯碩的技術和產品相較于國內競爭對手是有一定口碑的，其無形資產的價值恰恰是芯碁微裝所需要的，雖然我們團隊掌握了芯碩的技術，我們也對外聲稱我們可以繞開芯碩的專利保護，但是芯碁微裝是無法擺脫芯碩的痕跡的。”
而且，在二審期間，合肥芯碩還提交了（2019）皖合衡公證字第880號公證書及其附件作為新證據，用以證明QQ電子郵箱214×××＠ｑｑ。ｃｏｍ的用戶確實為被上訴人的法定代表人程卓。
當然，在此前案件審理中，合肥芯碩以敗訴而告終，但對于這些證據的真實性，法院還都給予了認可，從這點來看，芯碁微裝在生產經營中確實用到了合肥芯碩的技術。
合肥芯碩為何在堅持了兩年多之后，突然接受私下和解？背后又有怎樣的秘密未被披露？因為從常理來看，和解意味著原告被告之間一定達成了一些相互之間認可的協議。那么，芯碁微裝究竟開出了怎樣的條件讓合肥芯碩“欣然接受”？
從時間點上來看，2020年5月13日，芯碁微裝首次發布招股說明書申報稿，而2019年12月12日，合肥芯碩提出了撤訴。這一時間點的背后或是合肥芯碩在當時可能已經知道了芯碁微裝的上市計劃，因為一般來說，在企業發布招股說明書之前需要改制，而改制后則需要經歷券商3個月甚至更長的的輔導期，完成之后就是制作上市申報材料期，一般也需要兩三個月時間，因此前兩個環節最快時間也至少得半年左右。這意味合肥芯碩在2019年12月底撤訴，很可能是芯碁微裝與其達成一些“秘密協議”，讓合肥芯碩獲得了其認可利益，但疑點在于，如此影響投資人利益的“秘密協議”，是否需要在招股書中公開披露或進行合理解釋呢？如果不是徹底解決專利權歸屬問題，一旦上市后再出現糾紛，很可能影響的就不是一家公司的問題，而是所有投資人的權益都可能會受到一定影響。
有意思的是，《紅周刊》記者曾就專利侵權事件向合肥芯碩了解相關情況，但合肥芯碩的表現卻是相當警惕的。記者撥通天眼查披露的合肥芯碩公開電話，接電話的女士稱自己原先只是合肥芯碩的后勤人員，現在已經不在合肥芯碩了，并不知道合肥芯碩的相關情況。此后，《紅周刊》記者又撥通了合肥芯碩官網的聯系電話，接聽方同樣是一名女性，當記者詢問這是否是合肥芯碩公司，對方予以了否認，在記者表明自己的記者身份后，對方突然掛斷電話，此后多次撥打再無人接聽。此外，《紅周刊》記者還電話聯系到合肥芯碩大股東中夏芯基（上海）科技有限公司，接聽方同樣以不清楚公司的具體情況為由，匆匆結束對話。
疑點在于，天眼查APP顯露的公司公開電話為何竟是企業的一名已退休后勤人員電話，這種安排是否符合工商信息相關披露規定？介紹商品、招攬客戶為目的的官網上公開披露的電話，接聽方竟干脆否認是企業電話。種種異常現象，實在是令人不解的。