比利時imec在2021年11月舉辦了針對日本的技術介紹會議一一ITF（imec Technology Forum） Japan 2021，在會議上imec披露了當下的研發成果和未來的計劃。之前都是在東京的某家酒店舉行會議，今年受到疫情影響，在線舉行。

　　圖1：ITF Japan 2021的演講。出自筆者截圖。

　　（圖片出自：mynavi）

　　新結構、新材料、3D化為“摩爾定律”續命

　　在上世紀末，就已經出現“摩爾定律”已經終結的悲觀論調。但是，imec為了不讓摩爾定律（是半導體產業增長的原動力）終結，一直在致力于提高工藝微縮化的集成度。而且，imec認為，在2020年之前的五十多年時間里，摩爾定律一直都在發揮作用。未來，通過導入微縮化、新型元件結構、新材料，以及堆疊芯片內晶體管和3D封裝（堆疊芯片），摩爾定律還會繼續發揮作用。

　　圖2：在過去五十年里，半導體芯片上晶體管數量的變遷。摩爾定律一直存在。（圖片出自：mynavi）

　　對1納米以下工藝的超微縮化技術的研究

　　首先，作為2D的微縮化方向的努力，imec此次展示了未來十年的邏輯半導體工藝、電子元件的長期技術藍圖。

　　一直以來，微縮化的標準都是以納米為單位表示的，在2025年以后，即進入以“埃（?，angstrom，1埃 = 0.1納米 = 1^（-10）米）”來表示的時代。屆時邏輯半導體工藝、元件實用化的藍圖如下：2025年為“A14（14?=1.4納米）”、2027年為“A10（10?=1nm）”、2029年為“A7（7?＝0.7納米）”。

　　這與英特爾在2021年7月披露的邏輯半導體工藝技術藍圖如出一轍，即2024年為“Intel2（2納米）”、2025年為“Intel 18A（18 ?）”（注：此處為英特爾公司內部叫法，可以看出英特爾試圖追趕在微縮化方面領先的TSMC）。Imec展示的邏輯半導體元件的技術藍圖上記載了“Industry Timeline”，還展示了先進半導體企業開始生產的年份。

　　另外，imec的長期方向在于研發先進工藝，而不是先進半導體企業從事的生產工藝。即，為了實現1納米以下的微縮化元件，imec已經在研發工藝、材料。將研發業務委托給imec的全球先進半導體企業與諸多設備材料廠家一起，外派了諸多技術人員、研發人員到比利時的imec園區，從事合作研發。

　　之前，人們使用最小加工尺寸、最小線寬、MOS晶體管的柵極（Gate）長等來表示邏輯工藝的微縮化，如今，各家公司不再將微縮化的程度拘泥于指標性數字，實際上集成電路上并沒有表示其長度的地方。因此，TSMC一直以來的“Nx（比方說，不說4納米，而是說N4）”、Intel最近提出的“Intel x（比方說，不說4納米，而是說Intel 4）”，這些名稱上都沒有提到長度單位。

　　從數字來看，每個代際（技術節點）都是上一代際的0.7倍左右（如，3納米、5納米、7納米、10納米……），這是英特爾自1970年制造出全球首個1K DRAM以來的傳統，長度為上一代際的0.7倍，面積就會成為上一代際的二分之一。如今，代際已經不再用長度來表示，因此面積也不一定就是上一代際的二分之一。

　　比方說，從下圖3中可以看出，PP為多晶硅（Polysilicon）排線線距（Pitch）的實際長度，MP為第一段金屬排線層的線距的實際長度。這樣，各家公司對于邏輯元件微縮化的指標就大相徑庭，且他們的指標遠遠小于線距。

　　圖3：imec的邏輯工藝·元件的微縮化技術藍圖。時間軸與先進半導體企業的生產元年一致，imec已經開始研發1納米（10?）以下的工藝。imec的目標是在三年內，將High NA EUV設備從試做到導入量產。（圖片出自：mynavi）

　　晶體管結構每個代際都在變化

　　就邏輯元件而言，隨著微縮化發展，其晶體管的結構從長年以來的平板型（Planner）結構到FinFET結構，在2納米以后，TSMC、英特爾正試圖采用GAA（Gate-All-Around，全環繞柵極）納米片（Namo-sheet）壓層結構。英特爾稱之為“RibbonFET”。此外，三星率先宣布已經從3納米過度到GAA納米層（三星稱之為“MBCFET（Multi Bridge Channel FET）”）。

　　就14?節點而言，imec提案了原用于CMOS的Forksheet結構（將p型和n型納米片晶體管成對排列，由于類似于用餐的叉子，所以命名為Forksheet），并一直在研發。就10?節點而言，imec試圖采用CEFT結構（Complementary FET，在硅表面垂直堆疊P-channel FET和N-channel FET），制作CMOS。在1納米（10?）以及以下節點，計劃采用原子形狀的溝道（Atomic Channel），其溝道采用厚度為1~多個原子層的2D材料。此外，imce所指的2D材料為半導體單層過渡金屬二硫屬化物（Dichalcogenide），化學式為MX2。此處的M為Mo（鉬）、W（鎢）等過渡金屬元素。X為硫、Se硒、Te（碲）等硫硒碲化合物（16類元素），imec通過采用2D材料和High NA EUV，開拓了1納米以下的工藝。

　　圖4：對晶體管結構變化的預測，imec正在研發以上所有的晶體管結構。（圖片出自：mynavi）

　　目標是在High NA EUV試做機出貨三年后實現量產

　　下面我們來看看EUV 光刻的未來技術藍圖。就2納米工藝而言，其使用的是繼7納米、5納米、3納米之后的第四代EUV光刻技術，且14?就在其延長線上。

　　但是，據預測，在14?以后，將不再使用NA=0.33的EUV，而是采用NA=0.55的High NA EUV光刻。Imec和ASML已經合作在荷蘭設立“imec-ASML Joint High NA EUV Research Laboratory”，由ASML在2023年導入High NA試做一號機。就EUV專用涂覆顯影設備（coater developer，即clean truck）而言，已經決定由獨霸市場的東京電子來提供。

　　ASML在2010年出貨了用于首代量產技術研發的EUV曝光設備一一“XE:3100”，十年后，量產設備“NXE:3400”被用于邏輯半導體的量產產線。就High NA EUV曝光設備而言，目標是在2023年出貨試做設備（EXE:5000），在三年后的2026年導入量產產線，技術人員正在imec-ASML的合作研究所里集中推進研發。

　　圖5：ASML 的EUV曝光設備技術藍圖。

　　（圖片出自：mynavi）

　　通過微縮化和3D封裝，進一步實現集成化

　　通過將原本平鋪的晶體管垂直堆疊，就可以使集成電路的晶體管數量增多，這是一個方向；此外，通過采用3D封裝技術（堆疊半導體芯片或者晶圓），來進一步增加晶體管數量的研發也在如火如荼地進行。TSMC在日本成立3DIC研究中心的目的似乎也在于此。

　　就imec而言，其研發水平遠遠領先于業界5一一8年的時間，其目標是先于業界實現某些技術，而且這些研究大部分是與合作伙伴共同合作的。

　　圖6：半導體企業的3D Interconnect密度、imec的推移表、未來的預測。（圖片出自：mynavi）

　　開始涉足降低生產半導體時的環境負荷項目

　　此外，imec在ITF Japan 2021上 做了新的研究主題一一《可持續發展的半導體技術、系統（Sustainable Semiconductor Technology and Science: SSTS項目）》。

　　在這個項目中，預測了生產半導體芯片時對環境造成的影響（電能消耗、化學藥品、材料、超純水、氣體等其他消耗），通過詳細分析碳足跡（Carbon Footprint，指的是一個人或者團體的“碳耗用量”），力求實現降低生產IC時的環境負荷。很期待半導體廠家（如生產設備廠家、材料廠家、晶圓代工廠）等企業共同加入研發，最近Apple（既是半導體Fabless、也是半導體客戶）也加入了研發，作為一項可以響應全球“碳中和（Carbon Neutral）”目標的活動，而被業界所熟知。

　　即，imec希望通過以上措施，以支持全球半導體供應鏈削減 “碳足跡”。